Проект
-
Проект по производству трифторида азота мощностью 1000 т/год (особая чистота газа 99,996%)
三氟化氮(Азот) Трифторид）,化学式NF3,是⼀种强氧化剂。作为⼀种重要的⼯业特种⽓体，具有⼴泛的应⽤领域。在微电⼦⼯业中，三氟化氮是⼀种优良的等离⼦蚀刻⽓体, 在半导体芯⽚、平板显⽰器、光纤、光伏电池等制造领域，三氟化氮主要⽤作等离⼦蚀刻⽓体...